真空在抽空工藝中的應(yīng)用

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發(fā)表時(shí)間:2017-12-18 22:35


就抽提工藝而言,真空技術(shù)的應(yīng)用體現(xiàn)在哪些方面?

容器抽空,即抽除密封容器中的空氣或氣體,是真空技術(shù)最為廣泛的應(yīng)用之一。這類(lèi)應(yīng)用種類(lèi)繁多。


所謂抽空,在多數(shù)環(huán)境空氣工業(yè)應(yīng)用中,一般理解為排空物理空間內(nèi)的氣體。當(dāng)環(huán)境空氣或氧氣的存在對(duì)制造或測(cè)試工藝產(chǎn)生干擾時(shí),常需要進(jìn)行抽空。


根據(jù)應(yīng)用的不同,對(duì)真空度的要求也不盡相同,從中央真空系統(tǒng)要求的低真空到半導(dǎo)體生產(chǎn)硅片涂層的高真空。


瑞峰騰的哪些真空解決方案尤其適合抽空工藝?

容器抽空工藝應(yīng)用范圍廣泛,相應(yīng)地,此類(lèi)真空泵產(chǎn)品也各式各樣。挑選真空獲得設(shè)備時(shí),需要考慮的關(guān)鍵因素包括排氣體積以及要求達(dá)到的容器最終壓力。基本上我們所有的真空泵都能達(dá)到此類(lèi)要求。


普旭R 5 旋片真空泵和瑞峰騰RFT旋片真空泵可用于許多不同的抽空工藝,因?yàn)槠溥\(yùn)行可靠且堅(jiān)固耐用,表現(xiàn)卓越。


Mink 爪式真空泵無(wú)油無(wú)接觸運(yùn)行,基本無(wú)需維護(hù)。這類(lèi)節(jié)能型真空泵用于低真空抽氣工藝。


COBRA 螺桿真空泵和漢鐘干式螺桿真空泵特別適合抽除腐蝕性或爆炸性氣體。螺桿真空泵采用無(wú)油螺桿技術(shù),可以達(dá)到高真空度。


如果是高真空抽空工藝,建議采用由瑞峰騰RFT旋片泵 或 鮑斯BSV雙級(jí)真空泵,漢鐘螺桿真空泵及鮑斯BSJ系列羅茨真空泵所組合而成的真空泵系統(tǒng)。如果抽空體積較小,建議采用 Zebra 旋片真空泵。適合高真空抽空的其它真空泵組合還包括 Turbo 渦輪分子真空泵和 Rangu 擴(kuò)散真空泵。


瑞峰騰真空技術(shù)在抽氣工藝中的常見(jiàn)應(yīng)用范例:


真空包裝——包裝腔體抽空(見(jiàn)"真空在包裝工藝中的應(yīng)用")

容器真空系統(tǒng)——真空容器長(zhǎng)期保持真空度

熱處理——真空爐抽空

表面涂層——鍍膜室抽空

模具排氣——鑄造質(zhì)量?jī)?yōu)化

空間模擬——空間模擬室抽氣

傳送室——晶片生產(chǎn)

工藝室——主要用于半導(dǎo)體生產(chǎn)



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